NNT605 - MİKRO ve NANO CİHAZ ÜRETİM TEKNİKLERİ
| Dersin Adı | Kodu | Yarıyılı | Teori (saat/hafta) |
Uygulama (saat/hafta) |
Yerel Kredi | AKTS |
|---|---|---|---|---|---|---|
| MİKRO ve NANO CİHAZ ÜRETİM TEKNİKLERİ | NNT605 | Herhangi Yarıyıl/Yıl | 3 | 0 | 3 | 9 |
| Önkoşul(lar)-var ise | Yok | |||||
| Dersin Dili | Türkçe | |||||
| Dersin Türü | Seçmeli | |||||
| Dersin verilme şekli | Yüz yüze | |||||
| Dersin öğrenme ve öğretme teknikleri | Anlatım Tartışma Soru-Yanıt Rapor Hazırlama ve/veya Sunma | |||||
| Dersin sorumlusu(ları) | Doç. Dr. Telem Şimşek | |||||
| Dersin amacı | Dersinin amacı, mikro ve nanofabrikasyonunda tipik olarak kullanılan yukarıdan aşağıya cihaz üretim adımlarının anlaşılmasıdır. Ders kapsamında hem kavramlar hem de pratik konseptler anlatılmaktadır. Derste kristal büyütme, katkılama, kimyasal buhar biriktirme, fiziksel buhar biriktirme, litografi, ıslak aşındırma, kuru aşındırma ve paketleme gibi temel kavramlara değinilmektedir. | |||||
| Dersin öğrenme çıktıları |
| |||||
| Dersin içeriği | Mikro/nanofabrikasyon temelleri ve süreçleri, Si tabanlı teknolojiye giriş, Temiz Oda, Alttaşlar, Kusurlar ve Difüzyon, Katkılama, Kimyasal Buhar Biriktirme, Atomik Katman Biriktirme, Fiziksel Buhar Biriktirme, Metalizasyon, Litografi Aşındırma, İleri Si-tabanlı Aygıtlar | |||||
| Kaynaklar | Hans H. Gatzen, Volker Saile, et al., Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes, Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2015 Gary S. May, Simon M. Sze, Fundamentals of Semiconductor Fabrication, Wiley, 2003. | |||||
Haftalara Göre İşlenecek Konular
| Haftalar | Konular |
|---|---|
| 1. Hafta | Si teknolojisine giriş |
| 2. Hafta | Alttaş |
| 3. Hafta | Kusurlar ve Difüzyon |
| 4. Hafta | Katkılama |
| 5. Hafta | Nanofabrikasyon teknikleri |
| 6. Hafta | Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) |
| 7. Hafta | Arasınav |
| 8. Hafta | Nano elektromekanik sistemler (NEMS) |
| 9. Hafta | Litografi |
| 10. Hafta | Litografi |
| 11. Hafta | Kimyasal aşındırma |
| 12. Hafta | Kuru aşındırma |
| 13. Hafta | Süreç Entegrasyonu ve İleri Si-Tabanlı Aygıtlar |
| 14. Hafta | Öğrenci Sunumları |
| 15. Hafta | Genel sınav |
Değerlendirme Sistemi
| Yarıyıl içi çalışmaları | Sayısı | Katkı Payı % |
|---|---|---|
| Devam (a) | 0 | 0 |
| Laboratuar | 0 | 0 |
| Uygulama | 0 | 0 |
| Alan Çalışması | 0 | 0 |
| Derse Özgü Staj (Varsa) | 0 | 0 |
| Ödevler | 0 | 0 |
| Sunum | 0 | 0 |
| Projeler | 0 | 0 |
| Seminer | 0 | 0 |
| Ara Sınavlar | 1 | 50 |
| Genel sınav | 1 | 50 |
| Toplam | 100 | |
| Yarıyıl İçi Çalışmalarının Başarı Notuna Katkısı | 0 | 50 |
| Yarıyıl Sonu Sınavının Başarı Notuna Katkısı | 0 | 50 |
| Toplam | 100 | |
AKTS (Öğrenci İş Yükü) Tablosu
| Etkinlikler | Sayısı | Süresi | Toplam İş Yükü |
|---|---|---|---|
| Ders Süresi | 14 | 3 | 42 |
| Laboratuvar | 0 | 0 | 0 |
| Uygulama | 0 | 0 | 0 |
| Derse özgü staj (varsa) | 0 | 0 | 0 |
| Alan Çalışması | 0 | 0 | 0 |
| Sınıf Dışı Ders Çalışma Süresi (Ön Çalışma, pekiştirme, vb) | 14 | 10 | 140 |
| Sunum / Seminer Hazırlama | 0 | 0 | 0 |
| Proje | 0 | 0 | 0 |
| Ödevler | 2 | 15 | 30 |
| Ara sınavlara hazırlanma süresi | 1 | 28 | 28 |
| Genel sınava hazırlanma süresi | 1 | 30 | 30 |
| Toplam İş Yükü | 32 | 86 | 270 |
Dersin Öğrenme Çıktılarının Program Yeterlilikleri İle İlişkilendirilmesi
| D.9. Program Yeterlilikleri | Katkı Düzeyi* | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | |
| 1. Matematik, fen bilimleri ve mühendislik bilgilerini nanoteknoloji ve nanotıp alanlarında yeni yöntem geliştirme amacıyla kullanabilme. | X | ||||
| 2. Nanoteknoloji ve Nanotıp alanında uygulanan güncel teknik ve yöntemler hakkında kapsamlı bilgi sahibi olma, | X | ||||
| 3. Atomik ve moleküler düzeyde işleyiş ve etkileşim mekanizmalarının tanımlanması ve anlaşılmasına yönelik yöntem ve araç geliştirme | X | ||||
| 4. Nanoteknoloji ve nanotıp uygulamalarının evrensel ve toplumsal boyutlardaki etkilerini anlama | X | ||||
| 5. Yaşam boyu öğrenmenin önemini benimseyerek yeni teknolojik uygulamalardaki gelişmeleri veri tabanları ve diğer bilgi kaynaklarını etkin bir şekilde kullanarak takip edebilme | X | ||||
| 6. Nanoteknoloji ve Nanotıp alanlarında yeni fikirlerin ve gelişmelerin analizini, sentezini ve değerlendirmesini yapabilme yeteneğini edinme | X | ||||
| 7. Girişimcilik ve yenilikçilik konularında farkındalığa sahip olma | X | ||||
| 8. Deney tasarlama, deney yapma, deney sonuçlarını analiz edip yorumlayarak yazılı bir rapor şeklinde sunabilme | X | ||||
| 9. Disiplin içi ve disiplinlerarası takım çalışması yapabilme | X | ||||
| 10. Çalışmaların sonuçlarını, ulusal ve uluslararası ortamlarda sistematik ve açık bir şekilde yazılı ya da sözlü olarak sunabilme becerisi edinme ve bilimsel literatüre katkıda bulunabilme | X | ||||
| 11. Mesleki etik ve sosyal sorumluluk bilincine sahip olma | X | ||||
*1 En düşük, 2 Düşük, 3 Orta, 4 Yüksek, 5 Çok yüksek